。

　　過程壓力通過隔離膜片

、密封硅油傳輸?shù)綌U散硅膜片上、同時參考端的壓力大氣壓作用于膜片的另一端。這樣膜片兩邊的壓差產(chǎn)生一個壓力場,使膜片的一部分壓縮,另一部分拉伸,在壓縮區(qū)和拉伸區(qū)分別由兩個應變電阻片,以感受壓力引起的阻值的變化,從而將壓力信號轉(zhuǎn)換為電信號圖。此種SBP800型壓力變送器可以測量316鋼承載的任何液、氣態(tài)介質(zhì)。

　　2.電容薄膜式壓力變送器

　　電容薄膜式絕對壓力變送器自80年代誕生至今有20年歷史,由于它的精度高,耐腐蝕,耐污染,穩(wěn)定性好,是國內(nèi)外*的檢測低真空壓力的理想儀表

。美國M.K.S的公司是全球生產(chǎn)電容薄膜式壓力變送器的主要生產(chǎn)廠家,至目前為止,它的年銷售額已達上億美元,涉及民用工業(yè)的各個領(lǐng)域,并在航天工業(yè)、核工業(yè)等軍事工業(yè)中發(fā)揮著作用。

　　這種壓力變送器是利用彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生壓變引起電容變換的原理制成,它是由檢測部分和轉(zhuǎn)換電路組成檢測部分有真空腔及檢測腔兩個腔體

。真空腔為全密封結(jié)構(gòu),經(jīng)質(zhì)譜檢漏儀檢漏合格后,通過長時間排氣,最后將排氣管密封形成的,并備有消氣劑,消除殘余氣體,長期保持高真空。固定極板位于真空腔中,由極板引出線至腔外。檢測膜片置于高真空的真空腔及連接低真空待測系統(tǒng)的檢測腔之間,檢測膜片為可動極板,其與固定極板形成一個平板電容器,有一定的電容值。被測的低真空壓力通過檢測孔進入檢測腔,檢測膜片產(chǎn)生撓曲,改變了其與固定極板的距離,電容值也隨之改變。不同的低真空壓力值決定不同的電容值。最后電容信號被輸送到電路轉(zhuǎn)換部分,電路轉(zhuǎn)換部分將電容信號通過變換、整理、放大等環(huán)節(jié),輸出一個標準電壓或電流信號。這個標準電信號是從電容信號而來,它與真空壓力成正比。真空預冷試驗機采用CPCD100Z型電容薄膜式壓力送器作為真空室壓力的測量。通過微處理機把信號輸出在面板上。實驗證明,該類型變送器響應快,穩(wěn)定可靠并可以連續(xù)使用,充分滿足了試驗中壓力測量的要求。

　　3.陶瓷厚膜壓力變送器

　　陶瓷厚膜式壓力變送器是利用了陶瓷厚膜電阻的力敏效應

。利用陶瓷厚膜壓力芯片作為彈性元件,印刷和燒結(jié)在陶瓷膜片上的厚膜電阻為敏感電阻,并經(jīng)過精密的補償技術(shù)、調(diào)阻技術(shù)、信號處理技術(shù)的處理,將壓力信號直接轉(zhuǎn)換成標準的電流信號,并接人工業(yè)儀表或計算機控制系統(tǒng),實現(xiàn)生產(chǎn)過程的自動檢測和控制。

　　瓷厚膜壓力變送器主要是由陶瓷厚膜壓力傳感器和微處理器兩部分組成,傳感器用來測量壓力變化。當壓力作用于傳感器時,引起傳感器的電阻值變化,傳感器芯片上的電橋電路檢測出并由A/D轉(zhuǎn)器轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號送至微處理器

。微處理器是信號處理的核心部件,具有線性運算、校正、故障診斷和通信功能。傳感器數(shù)據(jù)存儲器能夠存儲修正系數(shù),微處理器利用存儲器中的數(shù)據(jù)信息,經(jīng)計算處理,產(chǎn)生一個高精度的特性優(yōu)異的輸出。這種變送器在生產(chǎn)工藝過程中可將各種介質(zhì)包括腐蝕性和非腐蝕性的氣體